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    12寸全自动衬底抛光
     
    JX300FP是在ag公司捷芯先进CMP设备基础上，根据行业前沿技术需求开发的领先型12英寸CMP设备。该设备配备性能优越的抛光单元，集成更先进的组合清洗技术，展现出更卓越的清洁效果。该设备可实现衬底纳米级全局平坦化，满足先进制程技术需求。

    • 晶圆尺寸

      ≤12 inches

    • GBIR

      ＜100nm

    • 抛光头

      3~8 ZONE

    • 进出料

      干进干出

    突破传统模式
    集抛光清洗于一体，融合技术优势，以稳健为基石，以突破为锋芒

    +86-0510-81816658

    sales@suyuelite.com

    江苏省无锡市新吴区新华路3号

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